Der Sprung zur Nutzung kurzwelliger (VUV) zu extrem-kurzwelliger UV-Strahlung (EUV) im Ultrahochvakuum innerhalb der digitalen Transformation, die die Verfügbarkeit leistungsfähiger Halbleiter-Chips voraussetzt, führte zu der Notwendigkeit einer aufwendigen, nasschemischen Säuberung, Trocknung und abschließenden Bewertung aller Bauteile der EUV-Anlage. Die dafür eingesetzte, vielschichtige und kosteninstensive Analysetechnologie zur Qualitätssicherung der einzelnen Komponenten steht nur in sehr begrenzetm Maße zur Verfügung.

Die Entwicklung eines kostengünstigen, robusten, schnellen und bedienerfreundlich gestalteten Trocknungssystems mit integrierter online-Messtechnik zur dynamischen Bestimmung des finalen Reinheitszustandes metallischer Bauteile ist das Ziel von Wissenschaftlern der Fraunhofer-Institute für Produktionstechnik und Automatisierung IPA, Stuttgart, und für Angewandte Festkörperphysik IAF, Freiburg. Dazu soll ein Trockenschrank mit eingebauter, auf der Kombination einer thermostatischen Quarzkristall-Mikrowaage und Infrarotspektroskopie beruhender Messzelle zur online-Sauberkeitsvalidierung genutzt werden.

Im Falle der Bewilligung dieses Projektvorhabens, für das die F.O.M. ca. 450.000 Euro BMWK-Fördermittel aus dem Programm der Industriellen Gemeinschaftsforschung einwerben möchte, wird das Projekt in der Verantwortung der F.O.M. durchgeführt werden. Dabei vernetzt die F.O.M. Industrie und Wirtschaft und setzt den projektbegleitenden Ausschuss aus 12-15 Wirtschaftsunternehmen ein.

Haben auch Sie Interesse an dem Projekt? Möchten Sie die Entwicklung dieses Forschungsvorhabens miterleben, mitsteuern
oder seine Durchführung unterstützen? Dann wenden Sie sich gerne an die Geschäftsstelle der F.O.M.
(info(at)forschung-fom.de, 030 4140 21-57).

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