Bei der Optikfertigung entstehende Mikrorisse und Materialschädigungen („sub-surface damages“; SSD) setzen die Abbildungsleistung optischer Systeme herab, sind jedoch nur sehr aufwendig oder destruktiv nachzuweisen. SSD können nur durch aufwendige, kostenintensive Polier- und Finishing-Verfahren entfernt werden. Projektziele sind ein tieferes Verständnis der SSD-Entstehung und von Möglichkeiten ihrer Minimierung und Entfernung. Mithilfe multiskaliger Analysen der Oberflächenzustände soll ein hochauflösendes, zerstörungsfreies Messverfahren auf Basis optischer Kohärenztomographie entwickelt und optimiert werden.
Beteiligte Forschungseinrichtungen
Ernst-Abbe-Hochschule, Jena
Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e. V., Leipzig
Eingebundene Unternehmen
(Projektbegleitender Ausschuss, "PA")
ASML Berlin GMbH
Carl Zeiss Jena GmbH
Hellma Materials GmbH
OptoTech Optikmaschinen GmbH
SCHOTT AG
Thorlabs GmbH
Förderung
Vorhabensbeschreibung
Stand der Fördermittelbeantragung