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Multiskalige Risscharakterisierung in der Optikfertigung

Bei der Optikfertigung entstehende Mikrorisse und Materialschädigungen („sub-surface damages“; SSD) setzen die Abbildungsleistung optischer Systeme herab, sind jedoch nur sehr aufwendig oder destruktiv nachzuweisen. SSD können nur durch aufwendige, kostenintensive Polier- und Finishing-Verfahren entfernt werden. Projektziele sind ein tieferes Verständnis der SSD-Entstehung und von Möglichkeiten ihrer Minimierung und Entfernung. Mithilfe multiskaliger Analysen der Oberflächenzustände soll ein hochauflösendes, zerstörungsfreies Messverfahren auf Basis optischer Kohärenztomographie entwickelt und optimiert werden.

 

Beteiligte Forschungseinrichtungen

  • Ernst-Abbe-Hochschule, Jena

  • Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e. V., Leipzig

Eingebundene Unternehmen
(Projektbegleitender Ausschuss
, "PA")

  • ASML Berlin GMbH

  • Carl Zeiss Jena GmbH

  • Hellma Materials GmbH

  • LAYERTEC GmbH KMU
  • MABRI.VISION GmbH KMU
  • OptoTech Optikmaschinen GmbH

  • SCHOTT AG

  • ShapeFab GmbH & Co. KG KMU
  • Thorlabs GmbH

  • Trionplas Technologies GmbH KMU
  • VM-TiM KMU

Förderung

  • Wird im Rahmen des BMWK-Programms "Industrielle Gemeinschaftsforschung" (IGF) beantragt

Vorhabensbeschreibung

Stand der Fördermittelbeantragung

  • Der Antrag wurde am 11.05.2022 mit 35 Punkten von den Gutachtern der Arbeitsgemeinschaft industrieller Forschungsvereinigungen (AiF) bewertet. Der Antrag auf Förderung wurde dem BMWK durch die AiF am 12.10.2022 vorgelegt.