Bei der Optikfertigung entstehende Mikrorisse und Materialschädigungen („sub-surface damages“; SSD) setzen die Abbildungsleistung optischer Systeme herab, sind jedoch nur sehr aufwendig oder destruktiv nachzuweisen. SSD können nur durch aufwendige, kostenintensive Polier- und Finishing-Verfahren entfernt werden. Projektziele sind ein tieferes Verständnis der SSD-Entstehung und von Möglichkeiten ihrer Minimierung und Entfernung. Mithilfe multiskaliger Analysen der Oberflächenzustände soll ein hochauflösendes, zerstörungsfreies Messverfahren auf Basis optischer Kohärenztomographie entwickelt und optimiert werden.
IGF-Projekt: 01IF22724N
Laufzeit: 01.02.2023 - 31.07.2025
Beteiligte Forschungseinrichtungen
AG Fertigungstechnik und Fertigungsautomatisierung, Ernst-Abbe-Hochschule, Jena
Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e. V., Leipzig
Eingebundene Unternehmen
(Projektbegleitender Ausschuss, "PA")
ASML Berlin GMbH
Carl Zeiss Jena GmbH
Hellma Materials GmbH
OptoTech Optikmaschinen GmbH
Qioptiq Photonics GmbH & Co. KG
SCHOTT AG
Thorlabs GmbH
An der Deckung der auf freiwilliger Basis durch die Wirtschaft zu tragenden Administrationskosten beteiligen sich bisher die Unternehmen ASML Berlin GmbH, Carl Zeiss Jena GmbH, LAYERTEC GmbH, OptoTech Optikmaschinen GmbH, Qioptiq Photonics GmbH & Co. KG, SCHOTT AG, Thorlabs GmbH und Trionplas Technologies GmbH. Die F.O.M. bedankt sich im Namen der begleitenden Branchen.
BMWK-Förderung
Vorhabensbeschreibung
Abschließende Ergebnisse
Weitere Informationen für eingebundene PA-Unternehmen
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