tigeR

Multiskalige Risscharakterisierung in der Optikfertigung

Bei der Optikfertigung entstehende Mikrorisse und Materialschädigungen („sub-surface damages“; SSD) setzen die Abbildungsleistung optischer Systeme herab, sind jedoch nur sehr aufwendig oder destruktiv nachzuweisen. SSD können nur durch aufwendige, kostenintensive Polier- und Finishing-Verfahren entfernt werden. Projektziele sind ein tieferes Verständnis der SSD-Entstehung und von Möglichkeiten ihrer Minimierung und Entfernung. Mithilfe multiskaliger Analysen der Oberflächenzustände soll ein hochauflösendes, zerstörungsfreies Messverfahren auf Basis optischer Kohärenztomographie entwickelt und optimiert werden.

IGF-Projekt: 22724 BR

Laufzeit: 01.02.2023 - 31.07.2025

Beteiligte Forschungseinrichtungen

Ernst-Abbe-Hochschule, Jena
Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e. V., Leipzig

Eingebundene Unternehmen
(Projektbegleitender Ausschuss, "PA")

ASML Berlin GMbH
Carl Zeiss Jena GmbH
Hellma Materials GmbH
LAYERTEC GmbH
MABRI.VISION GmbH ^KMU
OptoTech Optikmaschinen GmbH
SCHOTT AG
ShapeFab GmbH & Co. KG ^KMU
Thorlabs GmbH
Trionplas Technologies GmbH ^KMU
VM-TIM GmbH ^KMU

BMWK-Förderung

Das IGF-Vorhaben Nr. 22724 BR der Forschungsvereinigung Feinmechanik, Optik und Medizintechnik wird über die AiF im Rahmen des Programms zur Förderung der Industriellen Gemeinschaftsforschung (IGF) vom Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz aufgrund eines Beschlusses des Deutschen Bundestages gefördert.
Fördersumme: 491.588 EUR

Vorhabensbeschreibung

Abschließende Ergebnisse

IGF-Erfolgsnote [Bereitstellung nach Projektabschluss, vsl. 12/2025]

Weitere Informationen für eingebundene PA-Unternehmen

Präsentationen und Protokolle der PA-Sitzungen
Zwischenberichte
Posterpräsentationen

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