Bei der Optikfertigung entstehende Mikrorisse und Materialschädigungen („sub-surface damages“; SSD) setzen die Abbildungsleistung optischer Systeme herab, sind jedoch nur sehr aufwendig oder destruktiv nachzuweisen. SSD können nur durch aufwendige, kostenintensive Polier- und Finishing-Verfahren entfernt werden. Projektziele sind ein tieferes Verständnis der SSD-Entstehung und von Möglichkeiten ihrer Minimierung und Entfernung. Mithilfe multiskaliger Analysen der Oberflächenzustände soll ein hochauflösendes, zerstörungsfreies Messverfahren auf Basis optischer Kohärenztomographie entwickelt und optimiert werden.
IGF-Projekt: 22724 BR
Laufzeit: 01.02.2023 - 31.07.2025
Beteiligte Forschungseinrichtungen
Ernst-Abbe-Hochschule, Jena
Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e. V., Leipzig
Eingebundene Unternehmen
(Projektbegleitender Ausschuss, "PA")
ASML Berlin GMbH
Carl Zeiss Jena GmbH
Hellma Materials GmbH
OptoTech Optikmaschinen GmbH
SCHOTT AG
Thorlabs GmbH
BMWK-Förderung
Vorhabensbeschreibung
Abschließende Ergebnisse
Weitere Informationen für eingebundene PA-Unternehmen
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