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Forschung

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Multiskalige Risscharakterisierung in der Optikfertigung

Bei der Optikfertigung entstehende Mikrorisse und Materialschädigungen („sub-surface damages“; SSD) setzen die Abbildungsleistung optischer Systeme herab, sind jedoch nur sehr aufwendig oder destruktiv nachzuweisen. SSD können nur durch aufwendige, kostenintensive Polier- und Finishing-Verfahren entfernt werden. Projektziele sind ein tieferes Verständnis der SSD-Entstehung und von Möglichkeiten ihrer Minimierung und Entfernung. Mithilfe multiskaliger Analysen der Oberflächenzustände soll ein hochauflösendes, zerstörungsfreies Messverfahren auf Basis optischer Kohärenztomographie entwickelt und optimiert werden.

IGF-Projekt: 22724 BR

Laufzeit: 01.02.2023 - 31.07.2025

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Beteiligte Forschungseinrichtungen

  • Ernst-Abbe-Hochschule, Jena

  • Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e. V., Leipzig

Eingebundene Unternehmen
(Projektbegleitender Ausschuss, "PA")

  • ASML Berlin GMbH

  • Carl Zeiss Jena GmbH

  • Hellma Materials GmbH

  • LAYERTEC GmbH
  • MABRI.VISION GmbH KMU

  • OptoTech Optikmaschinen GmbH

  • SCHOTT AG

  • ShapeFab GmbH & Co. KG KMU

  • Thorlabs GmbH

  • Trionplas Technologies GmbH KMU
  • VM-TIM GmbH KMU

An der Deckung der auf freiwilliger Basis durch die Wirtschaft zu tragenden Administrationskosten beteiligen sich bisher die Unternehmen ASML Berlin GmbH, Carl Zeiss Jena GmbH, LAYERTEC GmbH, OptoTech Optikmaschinen GmbH, SCHOTT AG, Thorlabs GmbH und Trionplas Technologies GmbH. Die F.O.M. bedankt sich im Namen der begleitenden Branchen.

 

BMWK-Förderung

  • Das IGF-Vorhaben Nr. 22724 BR der F.O.M. wird im Rahmen des Programms zur Förderung der Industriellen Gemeinschaftsforschung (IGF) vom Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK) aufgrund eines Beschlusses des Deutschen Bundestages gefördert.
  • Fördersumme: 491.588 EUR

Vorhabensbeschreibung

Abschließende Ergebnisse

  • IGF-Erfolgsnote [Bereitstellung nach Projektabschluss, vsl. 12/2025]

Weitere Informationen für eingebundene PA-Unternehmen

  • Präsentationen und Protokolle der PA-Sitzungen:
    -  27.04.2023 (EAH Jena, Jena)
  • Zwischenberichte:
  • Posterpräsentationen:

Als F.O.M.-Mitglied können Sie über eine formlose E-Mail das entsprechende "Ergebnis-Paket tigeR" abonnieren.