Der 3D-Druck von Glasbauteilen mittels selektiven laserinduzierten Ätzens (SLE) ist derzeit auf Bauteildicken bis 1,5 cm beschränkt und zeitintensiv, was zu hohen Produktionskosten führt. Ziel ist die Weiterentwicklung des SLE-Verfahrens, um Bauteile mit Abmessungen bis über 5 cm herstellen und die Prozessgeschwindigkeit steigern zu können. Das Verfahren soll dazu mithilfe großer Fokus-Durchmesser beschleunigt werden. Die Kombination mit einem Mikro-Scanner ermöglicht die schnelle Herstellung von makroskopischen komplexen 3D-Strukturen mit Mikrostrukturen, zur Erschließung weiterer Anwendungsfelder.
IGF-Projekt: 22034 N
Laufzeit: 01.01.2022 - 31.07.2024
Beteiligte Forschungseinrichtung
Eingebundene Unternehmen
(Projektbegleitender Ausschuss, "PA")
Carl Zeiss Jena GmbH
Carl Zeiss SMT GmbH
Von diesen Unternehmen beteiligen sich bisher die Unternehmen ASML Berlin GmbH, Carl Zeiss Jena GmbH, Carl Zeiss SMT GmbH, EdgeWave GmbH, FISBA AG, MDI Advanced Processing GmbH sowie die SCANLAB GmbH an der Deckung der auf freiwilliger Basis durch die Wirtschaft zu tragenden Administrationskosten. Die F.O.M. bedankt sich im Namen der begleitenden Branchen.
BMWK-Förderung
Vorhabensbeschreibung
Abschließende Ergebnisse
Weitere Informationen für eingebundene PA-Unternehmen
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