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Laser Beam Figuring

Entwicklung eines laserbasierten Korrekturpoliturverfahrens für Asphären und Freiformoptiken aus Quarzglas und ULE

Die steigenden Anforderungen an die Fertigungsmethoden asphärischer Hochpräzisionsoptiken und Freiformoptiken sind hinsichtlich Zeit und Kosteneffizienz kaum mehr zu bewältigen. Ziel dieses Forschungsprojektes ist daher die Entwicklung eines laserbasierten Korrekturpoliturverfahrens für nicht sphärische Optiken aus Quarzglas oder extrem ausdehnungsarmem Titanium Silikatglas ULE®). Um Formfehler, lang und mittelfrequente Fehler korrigieren zu können, soll mithilfe modulierter CO2-Laserstrahlung ein lokaler Glasabtrag mit wenigen bis < 100 nm Abtragtiefe und einer lateralen Auflösung von ≈ 50 µm ermöglicht werden.

IGF-Projekt: 21672 N

Laufzeit: 01.03.2021 - 28.02.2023

Beteiligte Forschungseinrichtung

  • Fraunhofer ILT Aachen

Eingebundene Unternehmen
(Projektbegleitender Ausschuss
, "PA")

  • asphericon GmbH KMU
  • Carl Zeiss SMT GmbH
  • Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
  • Innolite GmbH KMU
  • JENOPTIK Optical Systems GmbH
  • Karl H. Arnold Maschinenfabrik GmbH & Co. KG KMU
  • LAYERTEC GmbH KMU
  • Leica Microsystems CMS GmbH
  • LightFab GmbH KMU
  • SwissOptic AG

BMWi-Förderung

  • Das IGF-Vorhaben Nr. 21672 N der Forschungsvereinigung Feinmechanik, Optik und Medizintechnik wird über die AiF im Rahmen des Programms zur Förderung der Industriellen Gemeinschaftsforschung (IGF) vom Bundesministerium für Wirtschaft und Energie aufgrund eines Beschlusses des Deutschen Bundestages gefördert.
  • Fördersumme: 248.023 EUR

Deckung der Administrationskosten

  • Administrationskosten vollständig durch freiwillige Förderbeiträge der Industrieunternehmen des Projektbegleitenden Ausschusses gedeckt

Vorhabensbeschreibung

Abschließende Ergebnisse

  • IGF-Erfolgsnote [Bereitstellung nach Projektabschluss, vsl. 11/2022]

Weitere Informationen für eingebundene PA-Unternehmen

  • Präsentationen und Protokolle der PA-Sitzungen:
    -  29.04.2021 (Webkonferenz)
  • Zwischenberichte
  • Posterpräsentationen
    -  Poster F.O.M.-Konferenz 2021

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