LabaKom

Laserbasierte Spannungskompensation bei Glassubstraten in der Dünnschichttechnologie

Nach der Beschichtung stehen aufgebrachte Schichten gewöhnlich unter mechanischer Spannung, die zur Verformung des Substrats führen kann. Oft ist mit herkömmlichen Methoden keine ausreichende Korrektur zu erzielen. Projektziel ist die Entwicklung eines kostengünstigen Verfahrens zur langzeitstabilen Kompensation von Zug- und Druckspannungen bei Glassubstraten, das die großflächige und schnelle Korrektur auch komplexer Verformungen ermöglicht. In die rückseitige Oberfläche sollen durch Laserbestrahlung Spannungen eingebracht und die dadurch bewirkte Formkorrektur experimentell und numerisch optimiert werden.

IGF-Projekt: 23076 N

Laufzeit: 01.08.2023 - 31.01.2026

Beteiligte Forschungseinrichtung

IFNANO Institut für Nanophotonik Göttingen e. V.

Eingebundene Unternehmen
(Projektbegleitender Ausschuss, "PA")

AMSTOG GmbH ^KMU
Bühler Alzenau GmbH
DIOPTIC GmbH ^KMU
HEGLA boraident GmbH & Co. KG
JENOPTIK Optical Systems GmbH
LaVision GmbH ^KMU
LAYERTEC GmbH
LO Laseroptik GmbH ^KMU
Nagl & Vetter GmbH ^KMU
Plan Optik AG ^KMU
scia Systems GmbH
SPECTARIS, Dt. Industrieverband
UltraFast Innovations GmbH ^KMU

BMWK-Förderung

Das IGF-Vorhaben Nr. 23076 N der F.O.M. wird im Rahmen des Programms zur Förderung der Industriellen Gemeinschaftsforschung (IGF) vom Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK) aufgrund eines Beschlusses des Deutschen Bundestages gefördert.
Fördersumme: 273.633 EUR

Vorhabensbeschreibung

Projektsteckbrief
Projektplan

Abschließende Ergebnisse

IGF-Erfolgsnote [Bereitstellung nach Projektabschluss, vsl. 07/2026]

Weitere Informationen für eingebundenen PA-Unternehmen

Präsentationen und Protokolle der PA-Sitzungen:
Zwischenberichte:
Posterpräsentationen:

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