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LabaKom

Laserbasierte Spannungskompensation bei Glassubstraten in der Dünnschichttechnologie

Nach der Beschichtung stehen aufgebrachte Schichten gewöhnlich unter mechanischer Spannung, die zur Verformung des Substrats führen kann. Oft ist mit herkömmlichen Methoden keine ausreichende Korrektur zu erzielen. Projektziel ist die Entwicklung eines kostengünstigen Verfahrens zur langzeitstabilen Kompensation von Zug- und Druckspannungen bei Glassubstraten, das die großflächige und schnelle Korrektur auch komplexer Verformungen ermöglicht. In die rückseitige Oberfläche sollen durch Laserbestrahlung Spannungen eingebracht und die dadurch bewirkte Formkorrektur experimentell und numerisch optimiert werden.

IGF-Projekt: 01IF23076N

Laufzeit: 01.08.2023 - 31.01.2026

Beteiligte Forschungseinrichtung

  • IFNANO Institut für Nanophotonik Göttingen e. V.

Eingebundene Unternehmen
(Projektbegleitender Ausschuss
, "PA")

  • AMSTOG GmbH KMU
  • Bühler Alzenau GmbH
  • DIOPTIC GmbH KMU
  • HEGLA boraident GmbH & Co. KG

  • JENOPTIK Optical Systems GmbH

  • LASEROPTIK GmbH KMU
  • LaVision GmbH KMU
  • LAYERTEC GmbH
  • Nagl & Vetter GmbH KMU
  • Plan Optik AG KMU
  • scia Systems GmbH
  • SPECTARIS, Dt. Industrieverband
  • UltraFast Innovations GmbH KMU

BMWK-Förderung

  • Das IGF-Vorhaben Nr. 23076 N der F.O.M. wird im Rahmen des Programms zur Förderung der Industriellen Gemeinschaftsforschung (IGF) vom Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK) aufgrund eines Beschlusses des Deutschen Bundestages gefördert.
  • Fördersumme: 273.633 EUR

Vorhabensbeschreibung

Abschließende Ergebnisse

  • IGF-Erfolgsnote [Bereitstellung nach Projektabschluss, vsl. 07/2026]

Weitere Informationen für eingebundenen PA-Unternehmen

  • Präsentationen und Protokolle der PA-Sitzungen:
  • Zwischenberichte:
  • Posterpräsentationen:
    - Poster F.O.M.-Konferenz 2023

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