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LabaKom

Laserbasierte Spannungskompensation bei Glassubstraten in der Dünnschichttechnologie

Nach der Beschichtung stehen aufgebrachte Schichten gewöhnlich unter mechanischer Spannung, die zur Verformung des Substrats führen kann. Oft ist mit herkömmlichen Methoden keine ausreichende Korrektur zu erzielen. Projektziel ist die Entwicklung eines kostengünstigen Verfahrens zur langzeitstabilen Kompensation von Zug- und Druckspannungen bei Glassubstraten, das die großflächige und schnelle Korrektur auch komplexer Verformungen ermöglicht. In die rückseitige Oberfläche sollen durch Laserbestrahlung Spannungen eingebracht und die dadurch bewirkte Formkorrektur experimentell und numerisch optimiert werden.

Beteiligte Forschungseinrichtung

  • IFNANO Institut für Nanophotonik Göttingen e.V.

Eingebundene Unternehmen
(Projektbegleitender Ausschuss
, "PA")

  • AMSTOG GmbH KMU
  • DIOPTIC GmbH KMU
  • HEGLA boraident GmbH & Co. KG

  • LAYERTEC GmbH KMU
  • Nagl & Vetter GmbH KMU
  • Plan Optik AG KMU
  • Scia Systems GmbH
  • SPECTARIS, Dt. Industrieverband
  • UltraFast Innovations GmbH KMU

Förderung

  • Wird im Rahmen des BMWK-Programms "Industrielle Gemeinschaftsforschung" (IGF) beantragt

Vorhabensbeschreibung

Stand der Fördermittelbeantragung

  • Der Antrag wurde am 29.07.2022 bei der Arbeitsgemeinschaft industrieller Forschungsvereinigungen (AiF) eingereicht und befindet sich zur Zeit in der Begutachtung.