Bei hochwertigen Optikflächen können Fehler im mittleren Frequenzband zwischen Formabweichung und Rauheit (Mid-Spatial Frequency Errors, MSFE) dazu führen, dass die Optiken auf Grund des resultierenden Beugungs- und Streulichtanteils nicht verwendet werden können. Ziele des Projektvorhabens EmmaV waren die systematische Beschreibung von MSFE sowie deren aktive Vermeidung. Dazu sollten die Erscheinungsformen dieser Fehler analysiert und ihre Ursachen im Fertigungsdurchlauf identifiziert werden. Strategien zur MSFE-Vermeidung sollten durch Fehlersimulation und Optimierung von Prozessparametern entwickelt werden.
IGF-Projekt: 18564 N
Laufzeit: 01.01.2017 - 31.12.2019
Beteiligte Forschungseinrichtungen
Eingebundene Unternehmen
(Projektbegleitender Ausschuss, "PA")
Von diesen Unternehmen beteiligten sich die Unternehmen asphericon GmbH, Berliner Glas KGaA, Carl Zeiss SMT GmbH, JENOPTIK Optical Systems GmbH, Leica Camera AG, Leica Microsystems GmbH, OptoTech Optikmaschinen GmbH, POG Präzisionsoptik Gera GmbH und Qioptiq Photonics GmbH & Co. KG an der Deckung der auf freiwilliger Basis durch die Wirtschaft zu tragenden Administrationskosten. Die F.O.M. bedankt sich im Namen der begleitenden Branchen.
BMWi-Förderung
Vorhabensbeschreibung
Wissenschaftliche Publikation
Pohl, M., Kukso, O., Boerret, R., Rascher, R., Mid-spatial frequency error generation mechanisms and prevention strategies for the grinding process. Journal of the European Optical Society-Rapid Publications 2020, 16:19. DOI: 10.1186/s41476-020-00140-9
Abschließende Ergebnisse
Weitere Informationen für eingebundene PA-Unternehmen
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