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EVAPORE

Entstehungsdetektion und Vermeidungsstrategien von Mikropartikeln in Plasmabeschichtungsprozessen für die optische Industrie

Mikrodefekte in funktionalen optischen und optoelektronischen Beschichtungen führen zu optischen Verlusten, reduzieren Filterfunktionen und die Laserzerstörfestigkeit von Optiken. Ziel ist die verbesserte Beherrschung der Defektbildung in Beschichtungsprozessketten für optische Anwendungen durch das vertiefte Verständnis von Entstehungsmechanismen, Eigenschaften und Wirkmechanismen der Defekte. Hierzu werden Partikelbildung und -bewegung simuliert und messtechnisch erfasst. Eine strategische Optimierung von Prozessparametern und Quellendesigns soll zu reduzierten Partikelbelastungen führen.

IGF-Projekt: 18590 N

Laufzeit: 01.08.2016 - 30.06.2019

Beteiligte Forschungseinrichtungen

  • Laser Zentrum Hannover e. V., Hannover
  • Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST, Braunschweig

Eingebundene Unternehmen
(Projektbegleitender Ausschuss, "PA")

  • Blösch AG KMU
  • Bühler Alzenau GmbH
  • Fisba AG KMU
  • LASER COMPONENTS GmbH KMU
  • Leica Microsystems GmbH
  • Merck KGaA
  • NANEO Precision IBS Coatings GmbH KMU
  • POG Präzisionsoptik Gera GmbH KMU
  • Qioptiq Photonics GmbH & Co. KG
  • Rodenstock GmbH
  • robeko GmbH & Co. KG KMU
  • Sindlhauser Materials GmbH KMU

BMWi-Förderung

  • Das IGF-Vorhaben Nr. 18590 N der Forschungsvereinigung Feinmechanik, Optik und Medizintechnik wird über die AiF im Rahmen des Programms zur Förderung der Industriellen Gemeinschaftsforschung (IGF) vom Bundesministerium für Wirtschaft und Energie aufgrund eines Beschlusses des Deutschen Bundestages gefördert.
  • Fördersumme: 467.450 EUR

Deckung der Administrationskosten

  • Administrationskosten vollständig durch freiwillige Förderbeiträge der Industrieunternehmen des Projektbegleitenden Ausschusses gedeckt

Vorhabensbeschreibung

Abschließende Ergebnisse

Weitere Informationen für eingebundene PA-Unternehmen

  • Präsentationen und Protokolle der PA-Sitzungen:
    -  25.06.2019 (LASER World of PHOTONICS Messe, München)
    -  24.10.2018 (Qioptiq Photonics GmbH & Co. KG, Göttingen)
    -  17.10.2017 (Laser Components GmbH, Olching)
    -  17.03.2017 (Fraunhofer IST, Braunschweig)
    -  28.09.2016 (Laser Zentrum, Hannover)
  • Zwischenberichte:
    -  Zwischenbericht für 2018
    -  Zwischenbericht für 2017
    -  Zwischenbericht für 2016
  • Posterpräsentationen:
    -  Poster F.O.M.-Konferenz 2018
    -  Poster 1 BMWi-Innovationstag Mittelstand 2018
    -  Poster 2 BMWi-Innovationstag Mittelstand 2018
    -  Simulation BMWi-Innovationstag Mittelstand 2018
    -  Poster F.O.M.-Konferenz 2017
    -  Poster F.O.M.-Konferenz 2016
  • Detaillierter Abschlussbericht

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