Mikrodefekte in funktionalen optischen und optoelektronischen Beschichtungen führen zu optischen Verlusten, reduzieren Filterfunktionen und die Laserzerstörfestigkeit von Optiken. Ziel des Projekts EVAPORE war die verbesserte Beherrschung der Defektbildung in Beschichtungsprozessketten für optische Anwendungen durch das vertiefte Verständnis von Entstehungsmechanismen, Eigenschaften und Wirkmechanismen der Defekte. Hierzu sollten Partikelbildung und -bewegung simuliert und messtechnisch erfasst werden. Eine strategische Optimierung von Prozessparametern und Quellendesigns sollte zu reduzierten Partikelbelastungen führen.
IGF-Projekt: 18590 N
Laufzeit: 01.08.2016 - 30.06.2019
Beteiligte Forschungseinrichtungen
Eingebundene Unternehmen
(Projektbegleitender Ausschuss, "PA")
BMWi-Förderung
Deckung der Administrationskosten
Vorhabensbeschreibung
Abschließende Ergebnisse
Weitere Informationen für eingebundene PA-Unternehmen
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