Mikrodefekte in funktionalen optischen und optoelektronischen Beschichtungen führen zu optischen Verlusten, reduzieren Filterfunktionen und die Laserzerstörfestigkeit von Optiken. Ziel des Projekts EVAPORE war die verbesserte Beherrschung der Defektbildung in Beschichtungsprozessketten für optische Anwendungen durch das vertiefte Verständnis von Entstehungsmechanismen, Eigenschaften und Wirkmechanismen der Defekte. Hierzu sollten Partikelbildung und -bewegung simuliert und messtechnisch erfasst werden. Eine strategische Optimierung von Prozessparametern und Quellendesigns sollte zu reduzierten Partikelbelastungen führen.
IGF-Projekt: 18590 N
Laufzeit: 01.08.2016 - 30.06.2019
Beteiligte Forschungseinrichtungen
Eingebundene Unternehmen
(Projektbegleitender Ausschuss, "PA")
Von diesen beteiligten sich die Unternehmen Blösch AG, Bühler Alzenau GmbH, FISBA AG, LASER COMPONENTS Germany GmbH, Leica Microsystems GmbH, Merck KGaA, NANEO Precision IBS Coatings GmbH und robeko GmbH & Co. KG an der Deckung der auf freiwilliger Basis durch die Wirtschaft zu tragenden Administrationskosten. Die F.O.M. bedankt sich im Namen der begleitenden Branchen.
BMWi-Förderung
Vorhabensbeschreibung
Wissenschaftliche Publikationen
Abschließende Ergebnisse
Weitere Informationen für eingebundene PA-Unternehmen
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