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24.11.2021

Neuartige Methode zur Korrektur von komplexen Verformungen bei Glassubstraten

Laserbasierte Spannungskompensation in der Dünnschichttechnologie: IGF-Vorhaben LabaKom

Neuartige Methode zur Korrektur von komplexen Verformungen bei Glassubstraten

Nach der Beschichtung stehen aufgebrachte Schichten gewöhnlich unter mechanischer Spannung, die zur Verformung des Substrats führen kann. Oft ist mit herkömmlichen Methoden keine ausreichende Korrektur zu erzielen.

Ziel der Wissenschaftler am IFNANO Institut für Nanophotonik Göttingen e.V. ist es, ein kostengünstiges Verfahren zur langzeitstabilen Kompensation von Zug- und Druckspannungen bei Glassubstraten zu entwickeln, das die großflächige und schnelle Korrektur auch komplexer Verformungen ermöglicht.

Die F.O.M. begleitet dieses Projektvorhaben, vernetzt Industrie und Wissenschaft, bildet einen projektbegleitenden Ausschuss aus 10-15 Wirtschaftsunternehmen und bemüht sich um die Einwerbung von ca. 250.000 Euro BMWi-Fördermitteln aus dem Programm der Industriellen Gemeinschaftsforschung. Im Falle der Bewilligung wird das Projekt in der Verantwortung der F.O.M. durchgeführt.

Haben Sie Interesse an dem Projekt und/oder möchten Sie seine Durchführung in irgendeiner Form unterstützen, die Projektfortschritte als Mitglied des projektbegleitenden Ausschusses hautnah erleben und die Forschung mitsteuern? Wenden Sie sich in diesen Fällen gerne an die F.O.M.-Geschäftsstelle (info@forschung-fom.de, 030 4140 21-50).

Projektsteckbrief