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Made InSitu

Materialspezifische Defektentstehung in der Optikbeschichtung

Mit dielektrischen Präzisionsbeschichtungen lassen sich höchste Qualitätsansprüche in der Optik erfüllen, Mikropartikelkontaminationen durch elektrische Durchschläge und andere Defekte limitieren jedoch die Qualität. Projektziele sind eine durchschlagsfreie Prozessführung, die Erarbeitung von Maßnahmen zur Prävention Beschichtungsmaterial-spezifischer Partikelkontaminationen sowie die Entwicklung eines Kontaminationsmodells zur Anlagenoptimierung. Mit zeitlich hochaufgelöster In-Situ-Messtechnik sollen die Partikelquellen eingegrenzt und der Einfluss des Reinigungszustands der Beschichtungsanlage ermittelt werden.

Laufzeit: 30.01.3020

Beteiligte Forschungseinrichtung

  • Laser Zentrum Hannover e. V., Hannover
  • Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST, Braunschweig

Eingebundene Unternehmen
(Projektbegleitender Ausschuss
, "PA")

  • FISBA AG
  • Cutting Edge Coatings GmbH KMU
  • Bühler Alzenau GmbH
  • NANEO Precision IBS Coatings GmbH KMU
  • Qioptiq Photonics GmbH & Co. KG
  • + weitere 7-10 Unternehmen (mind. 50 % KMU)

Förderung

  • Wird im Rahmen des BMWi-Programms "Industrielle Gemeinschaftsforschung" (IGF) beantragt

Vorhabensbeschreibung

Stand der Fördermittelbeantragung

  • Der Antrag wird voraussichtlich im April 2020 bei der Arbeitsgemeinschaft industrieller Forschungsvereinigungen (AiF) eingereicht.