Mit dielektrischen Präzisionsbeschichtungen lassen sich höchste Qualitätsansprüche in der Optik erfüllen, Mikropartikelkontaminationen durch elektrische Durchschläge und andere Defekte limitieren jedoch die Qualität. Projektziele sind eine durchschlagsfreie Prozessführung, die Erarbeitung von Maßnahmen zur Prävention Beschichtungsmaterial-spezifischer Partikelkontaminationen sowie die Entwicklung eines Kontaminationsmodells zur Anlagenoptimierung. Mit zeitlich hochaufgelöster In-Situ-Messtechnik sollen die Partikelquellen eingegrenzt und der Einfluss des Reinigungszustands der Beschichtungsanlage ermittelt werden.
Beteiligte Forschungseinrichtung
Eingebundene Unternehmen
(Projektbegleitender Ausschuss, "PA")
Förderung
Vorhabensbeschreibung
Stand der Fördermittelbeantragung