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Made InSitu

Materialspezifische Defektentstehung in der Optikbeschichtung

Mit dielektrischen Präzisionsbeschichtungen lassen sich höchste Qualitätsansprüche in der Optik erfüllen, Mikropartikelkontaminationen durch elektrische Durchschläge und andere Defekte limitieren jedoch die Qualität. Projektziele sind eine durchschlagsfreie Prozessführung, die Erarbeitung von Maßnahmen zur Prävention Beschichtungsmaterial-spezifischer Partikelkontaminationen sowie die Entwicklung eines Kontaminationsmodells zur Anlagenoptimierung. Mit zeitlich hochaufgelöster In-Situ-Messtechnik sollen die Partikelquellen eingegrenzt und der Einfluss des Reinigungszustands der Beschichtungsanlage ermittelt werden.

IGF-Projekt: 22679 N

Beteiligte Forschungseinrichtungen

  • Laser Zentrum Hannover e. V., Hannover
  • Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST, Braunschweig

Eingebundene Unternehmen
(Projektbegleitender Ausschuss
, "PA")

  • Blösch AG KMU
  • Bühler Alzenau GmbH
  • Cutting Edge Coatings GmbH KMU
  • FISBA AG
  • GfE Fremat GmbH
  • IfU Diagnostic Systems GmbH KMU
  • LASEROPTIK GmbH KMU
  • PLASUS GmbH KMU
  • POG Präzisionsoptik Gera GmbH
  • Qioptiq Photonics GmbH & Co. KG

Förderung

  • Ist im Rahmen des BMWK-Programms "Industrielle Gemeinschaftsforschung" (IGF) beantragt worden

Vorhabensbeschreibung

Stand der Fördermittelbeantragung

  • Der überarbeitete Antrag wurde am 29.04.2022 mit 35 Punkten von den Gutachtern der Arbeitsgemeinschaft industrieller Forschungsvereinigungen (AiF) bewertet. Der Antrag auf Förderung wurde dem BMWK durch die AiF am 09.09.2022 vorgelegt.