LAUFENDE PROJEKTE

EVAPORE

Entstehungsdetektion und Vermeidungsstrategien von Mikropartikeln in Plasmabeschichtungsprozessen für die optische Industrie

Mikrodefekte in funktionalen optischen und optoelektronischen Beschichtungen führen zu optischen Verlusten, reduzieren Filterfunktionen und die Laserzerstörfestigkeit von Optiken. Ziel ist die verbesserte Beherrschung der Defektbildung in Beschichtungsprozessketten für optische Anwendungen durch das vertiefte Verständnis von Entstehungsmechanismen, Eigenschaften und Wirkmechanismen der Defekte. Hierzu werden Partikelbildung und -bewegung simuliert und messtechnisch erfasst. Eine strategische Optimierung von Prozessparametern und Quellendesigns soll zu reduzierten Partikelbelastungen führen.

IGF-Projekt: 18590 N

Laufzeit: 01.08.2016 - 30.06.2019

Beteiligte Forschungseinrichtungen

  • Laser Zentrum Hannover e. V., Hannover
  • Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST, Braunschweig

Eingebundene Unternehmen (Projektbegleitender Ausschuss)

  • Blösch AG (KMU)
  • Bühler Alzenau GmbH
  • Fisba AG (KMU)
  • LASER COMPONENTS GmbH (KMU)
  • Leica Microsystems GmbH
  • Merck KGaA
  • NANEO Precision IBS Coatings GmbH (KMU)
  • POG Präzisionsoptik Gera GmbH (KMU)
  • Qioptiq Photonics GmbH & Co. KG
  • Rodenstock GmbH
  • robeko GmbH & Co. KG (KMU)
  • Sindlhauser Materials GmbH (KMU)

BMWi-Förderung

  • 467.450 EUR im Rahmen der Industriellen Gemeinschaftsforschung

Vorhabenbezogene Aufwendungen der Wirtschaft

  • 176.210 EUR

Deckung der Administrationskosten

  • Administrationskosten durch freiwillige Förderbeiträge der Industrieunternehmen des Projektbegleitenden Ausschusses zu 99,5 % gedeckt

Treffen des Projektbegleitenden Industrieausschusses

  • 24.10.2018 (Göttingen)
  • 17.10.2017 (Olching)
  • 17.03.2017 (Fraunhofer IST, Braunschweig)
  • 28.09.2016 (Laser Zentrum, Hannover)

Vorhabensbeschreibung

Ergebnisse

Posterpräsentationen und Fachartikel

Kontakt

F.O.M.

Werderscher Markt 15
D-10117 Berlin

Fon: +49 (0)30 414021-39
E-Mail: info@forschung-fom.de

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Kooperationspartner